プラズマ洗浄は、重要な表面処理のための実証済みの効果的で経済的かつ環境的に安全な方法です。酸素プラズマによるプラズマ洗浄は、天然および工業用オイルおよびグリースをナノスケールで除去し、溶剤洗浄残留物自体を含む従来の湿式洗浄方法と比較して汚染を最大 6 倍削減します。プラズマ洗浄により生成されるもの有害な廃棄物がなく、すぐに接着またはさらなる加工ができる、きれいな表面。

プラズマクリーニングの仕組み

プラズマ内で生成される紫外線は、表面汚染物質のほとんどの有機結合を破壊するのに非常に効果的です。これは、油やグリースを分解するのに役立ちます。2 番目の洗浄動作は、プラズマ内で生成された高エネルギーの酸素種によって実行されます。これらの種は有機汚染物質と反応して主に水と二酸化炭素を形成し、これらは処理中にチャンバーから継続的に除去（ポンプで排出）されます。

となる部分の場合プラズマ洗浄されたものは酸化しやすいもので構成されています代わりに、銀や銅などの材料、アルゴンやヘリウムなどの不活性ガスが使用されます。プラズマで活性化された原子とイオンは分子サンドブラストのように動作し、有機汚染物質を分解します。これらの汚染物質は処理中に再び蒸発してチャンバーから排出されます。